一起來(lái)了解下鍍膜儀的特性

更新時(shí)間：2020-01-15 點(diǎn)擊次數(shù)：1077

　　什么是鍍膜？在陽(yáng)極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓，當(dāng)出現(xiàn)輝光放電時(shí)，陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標(biāo)材料，其結(jié)果是濺射出來(lái)的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽(yáng)極上)表面形成一層薄膜，均勻分布在樣本的表面，這個(gè)過(guò)程就叫鍍膜。

　　鍍膜儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，采用隔膜泵和渦輪分子泵，無(wú)油真空系統(tǒng)，真空度可達(dá)2×10-6mbar。鍍膜細(xì)膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器，可精確控制鍍膜厚度。全自動(dòng)電腦控制，自動(dòng)完成抽真空，鍍膜，放氣等全過(guò)程，一鍵操作，采用觸摸屏控制，簡(jiǎn)單方便，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

　　鍍膜儀的主要特性：

　　1、自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚和較好的導(dǎo)電噴鍍效果。

　　2、通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。

　　3、操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

　　4、在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程，可通過(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

　　5、通過(guò)使用高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過(guò)程。

　　6、可用高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過(guò)程。

　　7、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和較好的鍍膜效果。