在工業和研究中高精度表面分析發揮著至關重要的作用它可以幫助確保材料和組件實現令人滿意的性能，但同時也面臨著諸多挑戰:表面結構錯綜復雜，高傾斜度區域要求橫向分辨率達到數微米，而關鍵性微觀峰谷要求垂直分析達到亞納米級。雖然共聚焦顯微技術可以提供高橫向分辨率但要實現亞納米級垂直分辨率則需要干涉測量技術。